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A300P（單片式）

應(yīng)用于Mini/Micro LED, OLED, Power Device, VCSEL, Wafer Optics

概述

應(yīng)用于Mini/Micro LED, OLED, Power Device, VCSEL, Wafer Optics

12寸（兼容小尺寸）晶圓工藝腔體

高深寬比基片上實(shí)現(xiàn)優(yōu)質(zhì)的薄膜覆蓋率

ICP離子源、Loadlock等模塊化配置

可沉積薄膜：氧化物、氮化物、氟化物、金屬單質(zhì)、摻雜膜、疊層膜等，適用于高校研究所及企業(yè)研發(fā)部門(mén)的多種開(kāi)發(fā)需求

相關(guān)參數(shù)

沉積薄膜 氧化物、氮化物、氟化物等 晶圓尺寸 300mm 最大裝片量 1

特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)

工藝溫度：

70℃ – 300℃

ALD 性能：

12寸（兼容小尺寸）晶圓工藝腔體

高深寬比基片上實(shí)現(xiàn)優(yōu)質(zhì)的薄膜覆蓋率

ICP離子源、Loadlock等模塊化配置

可沉積薄膜：氧化物、氮化物、氟化物、金屬單質(zhì)、摻雜膜、疊層膜等，適用于高校研究所及企業(yè)研發(fā)部門(mén)的多種開(kāi)發(fā)需求

高潔凈度的傳片和無(wú)particle的鍍膜方案，可保證鍍膜過(guò)程中的基板表面潔凈度

裝片方式：

可loadlock自動(dòng)裝卸基片

相關(guān)產(chǎn)品

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