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ALD鍍膜的保形性，可均勻覆蓋3D藍寶石等襯底，頂部、側壁、...
ALDER-500PAS(A500PAS)是一種為了滿足各種涂層研發(fā)及中型批量量產而進行優(yōu)化設計的中型ALD裝置。
A1000PC是面向于工業(yè)化大規(guī)模生產的原子層沉積系統，低溫鍍膜設計可以在各種3維基板上沉積高質量光學薄膜。
A800LS的小型化布局設計使得維護等操作在灰區(qū)進行，節(jié)省了潔凈間占地面積。相應的維護操作更簡便，消耗品使用更少，滿足工業(yè)化所需的高重復性和高可靠性鍍膜。
光馳A800TBS原子層沉積系統是專業(yè)應用于晶圓級光學領域的工業(yè)化批量式ALD，例如：光柵間隙填充，三維表面修飾，器件封裝和沉積增透減反膜。
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