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A800DAC

A800DAC是滿足先進制程、擁有完整Cluster系統(tǒng)的原子層沉積鍍膜設(shè)備。可制備滿足功率器件、Micro-OLED、先進封裝等半導(dǎo)體或泛半導(dǎo)體市場要求的高絕緣、優(yōu)阻隔、低雜質(zhì)的鈍化和/或封裝等多種先進薄膜應(yīng)用。

概述

A800DAC是滿足先進制程、擁有完整Cluster系統(tǒng)的原子層沉積鍍膜設(shè)備。可制備滿足功率器件、Micro-OLED、先進封裝等半導(dǎo)體或泛半導(dǎo)體市場要求的高絕緣、優(yōu)阻隔、低雜質(zhì)的鈍化和/或封裝等多種先進薄膜應(yīng)用。

在復(fù)雜結(jié)構(gòu)的優(yōu)異附著力和保形性

具備優(yōu)質(zhì)抗擊穿性能

具備優(yōu)質(zhì)防水氣侵蝕性能

全自動化基板裝載

適用于工業(yè)4.0的先進控制系統(tǒng)

經(jīng)國際認證機構(gòu)認可的ALD系統(tǒng)設(shè)計

特點及優(yōu)勢

產(chǎn)品特點

在復(fù)雜結(jié)構(gòu)的優(yōu)異附著力和保形性

具備優(yōu)質(zhì)抗擊穿性能

具備優(yōu)質(zhì)防水氣侵蝕性能

全自動化基板裝載

適用于工業(yè)4.0的先進控制系統(tǒng)

經(jīng)國際認證機構(gòu)認可的ALD系統(tǒng)設(shè)計

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